台積電南科18廠。路透社
嘉義大埔今日(1/21)零時17分,發生芮氏規模6.4地震,並有多起規模5以上餘震,台積電南部有多座重要晶圓廠引發關注,台積電今天表示,凌晨1時許全數完成清點確定人員皆安全無虞,各廠區亦確認結構安全無虞逐步回線,公司建廠工地亦未受影響,今日照常施工。至於各項細部檢查與詳細影響評估作業則在持續進行中。
台積電南部有多座重要晶圓廠,包括南科3奈米Fab18廠,以及甫進機的高雄2奈米Fab22廠,還有正在興建中的嘉義CoWoS先進封裝廠,皆位於此次強震發生區域。
台積電表示,位於南部科學園區之晶圓廠區測得最大震度為5級、中部科學園區廠區最大震度為4級、新竹科學園區晶圓廠區(含龍潭及竹南)最大震度為3級。
為確保人員安全,台積電各廠區依內部程序啟動相關安全預防措施,部分中部及南部廠區在第一時間進行人員疏散,並於凌晨1時許全數完成清點確定人員皆安全無虞,各廠區亦已完成建築震後損害檢查,確認結構安全無虞逐步回線。
台積點也確認,公司建廠工地未受影響,於震後環境安全檢查後今日照常施工。
台積電表示,目前各廠區供水、電力、工安系統及營運正常,各項細部檢查與詳細影響評估作業持續進行中。