台積電開發「氨氮廢水分流查核處理系統」　成功導入晶圓廠！年省1.02億

台積電致力實踐水資源永續管理，為降低製程排放水的導電度及化學藥劑使用量，去年研發「氨氮廢水分流查核處理系統」，透過精準分流、查核管理、循環再生3階段流程，落實資源再生。今年6月，該系統成功導入晶圓二十廠廠區，有效降低外排廢水導電度40%、化學藥劑減量30%，預估年減碳8,950公噸，綠色效益達1.02億元台幣。

台積電在新出爐的ESG電子報中指出，該公司去年開發「氨氮廢水分流查核處理系統」，透過3階段流程，將低濃度廢水導入生物處理系統，讓氨氮做為微生物的氮源進行再利用；高濃度廢水則採用脫氣膜技術處理，將氨氮轉化為硫酸銨；同步降低廢水導電度與藥劑使用。

台積電指出，過去該公司主要將機台排放的不同濃度氨氮廢水混合後統一處理，由於混合後的廢水濃度偏低，須先利用逆滲透技術提高氨氮濃度，再以脫氣膜技術強化去除效率；然而，逆滲透流程需額外的化學藥劑與設備運作成本。

為減少藥劑使用，台積電濕式清洗製程與廠務團隊共同開創「氨氮廢水分流查核處理系統」。第1階段，透過分析製程機台的排水行為，制訂濃度梯度分流規則與建立資料庫，精準辨識不同濃度的氨氮廢水。第2階段則開發機台內聯管查核方法，完成晶圓二十廠第1期廠區約1,000台機台、共5,887個排水點的分流查核，並優化排水配置及軟體設定，確保不同類型的廢水安全輸送至適合的處理措施，優化管理效率。

經過前2階段的改良，無需經過逆滲透流程，氨氮廢水濃度已提升至原先的2倍，可有效降低藥劑用量、廢棄物產生並節約能源；進入第3階段，團隊進一步反覆測試，掌握氨氮濃度、水量、硫酸銨濃度、排放氨氮濃度之間的最佳比例，將不同濃度的氨氮廢水分流至生物處理系統與脫氣膜，再分別轉化為微生物營養源及硫酸銨，展現資源循環新價值。


台積電表示，開發防治技術是該公司推動水資源管理的重要策略，氨氮廢水分流查核處理系統已列入未來新建廠區標準設計，並逐步導入7奈米以下製程的晶圓廠，精進廢水處理效率。

台積電指出，該公司積極探索低濃度含氟廢水轉化為高純度冰晶石的可行性，透過創新技術驅動資源循環，落實水管理的永續願景。